熱門關(guān)鍵詞: 水環(huán)真空泵 旋片式真空泵 杭州真空設(shè)備 真空設(shè)備廠
真空泵其實有多種不一樣的類型,選擇不同的類型,也就會有不一樣的作用,所以是應(yīng)該要讓自己能夠先去了解了,這一點都是很有必要的一件事情。干式真空泵由于其優(yōu)越的性能,目前已成為電子行業(yè)、半導(dǎo)體、制藥、精加工等行業(yè)優(yōu)選的真空采集設(shè)備。那么干式真空泵有哪幾種類型呢?下面非耀真空泵廠家小編就來帶大家了解一下。
非耀干式無油螺桿真空泵
一、雙圓裂片式。雙圓裂片式的多級設(shè)計使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜,并且每一及都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達(dá)到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然,這種干式真空泵設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
二、三葉圓裂片式。三葉圓裂片式設(shè)計和上述形式設(shè)計的原理相同,只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。為了進(jìn)一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達(dá),但這也會導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動的能力—下降。
三、組合式(羅茨+爪)。組合式(羅茨+爪)設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計相同。也有些廠家將這種干式真空泵其改為星型設(shè)計,這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。
四、壓縮型螺桿式。在壓縮型干式螺桿真空泵設(shè)計中,使用一對等距螺桿。
螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮,同時使得氣體通路簡單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留的時間也短。這種干式真空泵設(shè)計在復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出的穩(wěn)定性非常強(qiáng)。